Nanocaracterización mecánica de películas de nitruro de titanio (TiN) producidas por dos diferntes técnicas PAPVD

• Autores: J. P. Mejía, D. F. Arias, W. Pérez
• Localización: Revista de la Sociedad Colombiana de Física, ISSN-e 0120-2650, Vol. 38, Nº. 3, 2006, págs. 1090-1093
• Idioma: español
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• Resumen
  • español

    Se implementó una metodología para medir nanodureza y módulo de Young de superficies de recubrimientos duros, utilizando un sistema de Microscopia de Barrido por sonda (SPM) el cual trabaja con la interacción entre la punta y muestra. El desarrollo de dicha metodología se fundamentó en el trabajo con el SPM en la técnica de Microscopia de Fuerza Atómica (AFM) en el modo de espectroscopía de fuerzas. Se crecieron capas de TiN en dos sistemas PAPVD variando distintos parámetros del proceso. Se compararon los datos obtenidos por el sistema de nanodurómetro comercial y los obtenidos por medio de la técnica AFM. El análisis de los datos proporcionados por esta técnica se fundamentó en el modelo de Oliver y Pharr. Se determinaron las propiedades elasto-plásticas de recubrimientos duros de capa fina de TiN permitiendo comparar los resultados obtenidos por los dos sistemas de medida de nanodureza.

  • English

    A methodology by nanohardness and Young¿s modulus measurements of hard coatings surfaces was implemented using a Scanning probe microscopy (SPM) system that works with tip - sample interactions. Development of this methodology was based in AFM and Spectroscopy Force modes of SPM. Layers of TiN were grown by two PAPVD systems varying different process parameters. The data obtained from a commercial Nanodurometer and an AFM mode were compared. Data analysis from this technique was based on Oliver and Pharr¿s model. Elasto-plastic properties from TiN hard coatings were determined in order to compare results from two techniques.