FEM-based method to determine mechanical stress evolution during process flow in microelectronics, application to stress¿voiding.

• Autores: S. Orain, J.-C. Barbé, X. Federspiel, P. Legallo, H. Jaouen
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 2-3, 2007, págs. 295-301
• Idioma: inglés
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