Dispersión asistida por magnetrón en películas de TiN

• Autores: Rubín Ortega de la Rosa, Claudia Franco M., Eduardo Valdés C., G. de Anda-Rodríguez
• Localización: Revista de la Facultad de Ingeniería - Universidad de Tarapacá, ISSN-e 0718-1337, ISSN 0717-1072, Vol. 13, Nº. 2, 2005, págs. 31-38
• Idioma: inglés
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• Resumen

  • Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temperaturas alrededor de 400oC de sustrato, observándose una significativa variación en el color clásico dorado y la dureza. Los resultados obtenidos mediante SEM (Microscopio Electrónico de Barrido) y difracción de rayos X revelan que hubo un cambio de coloración, composición y dureza al variar las condiciones de tiempo de depositación y distancia de trabajo sobre los sustratos. Esto fue corroborado en los resultados obtenidos por mediciones de dureza con un microdurómetro Mitutoyo. La microscopía electrónica de barrido reveló una morfología columnar. Utilizando un microindentador Vickers se obtuvo la dureza de los recubrimientos para las muestras analizadas