Effect of film thickness and annealing temperature on hillock distributions in pure Al films

• Autores: Je-Hun Lee, Chang-Oh Jeong, Young-Chang Joo, Soo-Jung Hwang
• Localización: Scripta materialia, ISSN 1359-6462, Vol. 56, Nº. 1, 2007, págs. 17-20
• Idioma: inglés
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