Discharge characteristics of an atmospheric-pressure capacitively coupled radio-frequency argon plasmas

• Autores: Han S. Uhm, Shou-Zhe Li, Jin-Pyo Lim
• Localización: Physics letters, Section A, ISSN 0375-9601, Vol. 360, Nº. 2, 2006, págs. 304-308
• Idioma: inglés
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