Caracterización de películas delgadas de carburo de tungsteno (w-c) obtenidas por el método de co-sputtering

• Autores: J.M. Caicedo, N. Ramírez, L. Yate, Leonid Ipaz, J.C. Caicedo
• Localización: Revista de la Sociedad Colombiana de Física, ISSN-e 0120-2650, Vol. 38, Nº. 4, 2006, págs. 1487-1490
• Idioma: español
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• Resumen

  • Se depositaron películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) por el método de magnetrón sputtering r.f. (13.56 MHz) en una atmósfera de argón, utilizando dos blancos en forma de mosaico, compuestos de una matriz de carbono y diferentes cantidades de tungsteno incrustadas en la misma y dispuestas de manera concéntrica en la zona donde el campo magnético produce la mayor erosión del blanco. Las películas fueron depositadas a temperaturas entre 300 y 500 °C , sobre substratos de silicio (100) y sobre aceros tipo AISI D3. Para establecer la composición de las películas depositadas estas fueron analizadas mediante Espectroscopia Dispersiva de Energía de rayos-X (EDX) y se logró determinar que las diferentes fases del carburo de tungsteno obtenidas (hexagonal del WC y ortorrómbica del subcarburo de W 2 C), dependen directamente del porcentaje de tungsteno en la matriz de carbono de los blancos y de la temperatura de deposición. Los análisis de Espectroscopia de Infrarrojo con Transformada de Fourier (FTIR) mostraron la presencia de un pico a 1770 cm -1 que corresponde a los grupos carbonilos del enlace C=O [8] y una banda ancha centrada a 1340 cm -1 donde se encuentran dos modos activos a 1144 y 1220 cm -1 correspondientes a las fases cúbicas y hexagonal del WC, respectivamente.