Nonlinear Feedback Control of Surface Roughness Using a Stochastic PDE: Design and Application to a Sputtering Process

• Autores: Y. Lou, P. D. Christofides
• Localización: Industrial & engineering chemistry research, ISSN 0888-5885, Nº. 21, 2006, págs. 7177-7189
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)