Diagramas de fase CVD para la preparación de películas de iridio

• Autores: M. A. Hernández-Pérez, J. R. Vargas-García, J. A. Romero-Serrano
• Localización: Revista de metalurgia, ISSN 0034-8570, Vol. 38, Nº 1, 2002, págs. 30-37
• Idioma: español
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  • Se calcularon los diagramas de fase CVD (Chemical Vapor Deposition) para la preparación de películas de iridio empleando el método de minimización de la energía libre de Gibbs. Como precursor se utilizó acetilacetonato de iridio (Ir(acac)3). Se analizaron las mezclas gaseosas Ir(acac)3-02-Ar e Ir(acac)3-Ar. Las temperaturas de depósito se exploraron desde 300 hasta 800 °C, las presiones totales de 13,3 a 13.332 Pa y las presiones parciales de los gases Ir(acac)3 y OZ desde 0,001 hasta 1.000 Pa. Los diagramas Ir-CVD predicen que sin OZ en la mezcla gaseosa, las películas constan de las fases sólidas Ir+C. En contraste, con adición de OZ los diagramas Ir-CVD revelan diferentes dominios de fases sólidas que incluyen lr02, IrOZ+Ir, Ir e Ir+C. Estos diagramas permiten establecer las presiones totales y temperaturas requeridas para obtener películas de composición deseada. Los resultados predichos por los diagramas Ir-CVD, están en buena concordancia con los obtenidos experimentalmente = Chemical vapor deposition (CVD) phase diagrams for the preparation of iridium films were calculated using Gibbs free energy minimization method. Iridium acetylacetonate (Ir(acac)3) was used as the precursor compound. Two gaseous mixtures were analyzed: Ir(acac)3-02-Ar and Ir(acac)3-Ar. The deposition temperatures were explored from 300 to 800 °C, total pressures from 13.3 to 13.332 Pa and partial pressures of Ir(acac)3 gas and OZ gas from 0.001 to 1.000 Pa. The Ir-CVD diagrams predicted that without OZ gas in the gaseous mixture, the solid films consist of two solid phases: Ir+C. In contrast, with addition of 02 to the gaseous mixture, the Ir-CVD diagrams revealed different domains of condensed phases which include IrOZ, Ir02+Ir, Ir and Ir+C. These diagrams allow one to establish the total pressures and temperatures required to obtain a given film composition. The results predicted by the Ir-CVD diagrams are in good agreement with those experimentally obtained