Fabrication of high-efficiency multilayer-coated gratings for the EUV regime using e-beam patterned substrates

• Autores: Eberhard Spiller, Farhad Salmassi, Paul Mirkarimi, Patrick P. Naulleau, Erik H. Anderson, J. Alexander Liddle, Eric M. Gullikson
• Localización: Optics communications, ISSN 0030-4018, Vol. 229, Nº. 1, 2004, págs. 109-116
• Idioma: inglés
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