Scalable multichannel micromachining with pseudo-nondiffracting vacuum ultraviolet beam arrays generated by thin-film axicons

• Autores: U. Neumann, A. Rosenfeld, R. Grunwald
• Localización: Optics letters: A publication of the Optical Society of America, ISSN 0146-9592, Nº. 11, 2006, págs. 1666-1668
• Idioma: inglés
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