Resumen de Incidencia de la nitrupación por plasma y sales en las propiedades mecánicad de tin y bicapas de TI-TIN crecidas por sputtering magnetrón RF sobre acero 420.

J. E. Alfonso, Fernando Pacheco, J. Torres

• En este trabajo, se presentan los resultados obtenidos de la medida de microdureza en películas delgadas de TiN con espesor de 0,8 m m y bicapas de Ti-TiN con espesores de 1.2 m m, crecidas sobre acero AISI 420 mediante la técnica de pulverización catódica magnetrón rf, en función de la preparación superficial del acero, para dos casos: nitrurado por plasma y nitrurado con sales. Las películas obtenidas han sido caracterizadas a través de microscopia eléctronica de barrido (SEM), microanálisis de energía dispersiva de rayos X (EDXS), difracción de rayos X (DRX) y medidas de microdureza. El analisis de EDXS revela que en los dos procesos de nitruración se ha incorporado N a las películas. Mediante DRX se ha establecido que en la nitruración por plasma se forma la fase Fe 3 N y CrN, lo que indica que el N se ha incorporado a la red del acero. Finalmente, los valores de microdureza de los aceros nitrurados por plasma se elevo de 450 Knoop, acero en el estado de entrega, hasta 1100 Knoop. En el caso de nitruración con sales el valor mas alto fue de 652 Knoop. Las películas de TiN crecidas sobre los aceros nitrurados aumentaron hasta 2400 Knoop, para los dos casos.