Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino

• Autores: O. Totolhua Paleta, A. G. Rojas H., Francisco J. Renero Carrillo, F. Gracia T., W. Calleja A., R. Pérez R.
• Localización: Revista Mexicana de Física, ISSN-e 0035-001X, Vol. 51, Nº. 6, 2005, págs. 620-625
• Idioma: español
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• Resumen

  • Presentamos el diseño de fabricación de una superficie cónica con k = ¡6:5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la técnica de grabado anisotropico con KOH. La superficie cónica es aproximada mediante ventanas esféricas. Comparaciones entre diámetro y separación de las ventanas esféricas, así como los parámetros que rigen la elección son discutidos.