Resumen de Instalación y adecuación de un horno, con adquisicón automatica de datos en un sistema de pulverización catódica R.F.

G. Bolaños, María F. Córdoba, H. Coy

• En este trabajo se presenta la instalación y adecuación de un horno en la cámara de vacío de un sis-tema de Pulverización catódica R.F BAE250. El horno calefactor alcanza temperaturas hasta 900°C, , además se presenta el acondicionamiento y conversión análoga digital (A/D) de la señal de voltaje proveniente de un termopar tipo J incorporado en el horno, para luego desplegar y alma-cenar los valores de temperatura automáticamente en memoria