Caracterització elèctrica del plasma d' una descàrrega de radiofreqüència utilitzada en la fabricació de circuits VLSI

• Autores: Pau Molinàs-Mata
• Localización: Revista de física, ISSN 1131-5326, Nº. 12, 1997, págs. 34-37
• Idioma: catalán
• Texto completo no disponible (Saber más ...)