Influence of nitrogen concentration on grain growth, structural and electrical properties of sputtered aluminum nitride films

• Autores: G. Bose, J.P. Kar, S. Tuli
• Localización: Scripta materialia, ISSN 1359-6462, Vol. 54, Nº. 10, 2006, págs. 1755-1759
• Idioma: inglés
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