Resumen de Deposición de películas de zirconio/ nitruro de zirconio en forma de multicapas por magnetron sputtering reactivo
J.M. Caicedo, P. Prieto, G. Bejarano, Adam G. Balogh, J.C. Caicedo, S. Gottschalk
Con el fin de mejorar las propiedades mecánicas y tribológicas de los recubrimientos multicapa de Zr/ZrN frente a los recubrimientos monocapa de ZrN y lograr una mayor eficiencia de estos recubrimientos en las diferentes aplicaciones industriales, se investigaron sus características microestructurales, morfológicas, mecánicas y tribologícas en función del número de bicapas y del periodo de las mismas, manteniendo un espesor constante de 4 micras. Las técnicas de caracterización utilizadas fueron: la Microscopia electrónica de barrido (SEM), Espectroscopia de energía dispersiva de rayos X (EDX), Espectroscopia de difracción de rayos X (XRD) y medidas de rayado y micro indentación. Los recubrimientos, con un número de bicapas entre 1 y 12, fueron depositados sobre substratos de Silicio (Si) con orientación (100). Una comparación entre las propiedades de la monocapa de ZrN y las multicapas de ZrN/Zr revelaron una mayor dureza y adherencia en los recubrimientos de 12 bicapas.
