Patterning large-area devices with a 5:1 reduction stepper

• Autores: Kari Leinonen
• Localización: Nuclear instruments & methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment, ISSN 0168-9002, Vol. 555, Nº. 1, 2005, págs. 59-64
• Idioma: inglés
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