Analysis of ALD-processed thin films by ion-beam techniques

• Autores: Juhani Keinonen, Lauri Niinistö, Matti Putkonen, Timo Sajavaara
• Localización: Analytical and bioanalytical chemistry, ISSN 1618-2642, Vol. 382, Nº 8, 2005, págs. 1791-1799
• Idioma: alemán
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