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Fabrication of very high quantum efficiency planar InGaAs PIN photodiodes through prebake process
Autores:
S. H. Chang
,
C. Y. Lin
,
Y. K. Fang
,
C. Y. Wu
,
S. F. Ting
,
S. F. Chen
,
C. S. Lin
Localización:
IEE Proceedings: Circuits, devices and systems
,
ISSN
1350-2409,
Vol. 152, Nº 6, 2005
,
págs.
637-640
Idioma:
inglés
Texto completo no disponible
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