Fabrication of very high quantum efficiency planar InGaAs PIN photodiodes through prebake process

• Autores: S. H. Chang, C. Y. Lin, Y. K. Fang, C. Y. Wu, S. F. Ting, S. F. Chen, C. S. Lin
• Localización: IEE Proceedings: Circuits, devices and systems, ISSN 1350-2409, Vol. 152, Nº 6, 2005, págs. 637-640
• Idioma: inglés
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