Abatement of Perfluorocompounds by Tandem Packed-Bed Plasmas for Semiconductor Manufacturing Processes

• Autores: H. M. Lee, M. B. Chang
• Localización: Industrial & engineering chemistry research, ISSN 0888-5885, Nº. 15, 2005, págs. 5526-5534
• Idioma: inglés
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