Talbot-SNOM method for non-contact evaluation of high-density gratings

• Autores: Hongxin Luo, Hua Zou, Yunqing Lu, Changhe Zhou
• Localización: Optics communications, ISSN 0030-4018, Vol. 248, Nº. 1, 2005, págs. 97-103
• Idioma: inglés
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