Remarkably Volatile Copper(II) Complexes of N,N'-Unsymmetrically Substituted 1 ,3-Diketimines as Precursors for Cu Metal Deposition via CVD or ALD

• Autores: Kyung-Ho Park, Will J. Marshall
• Localización: Journal of the American Chemical Society: JACS, ISSN 0002-7863, Vol. 127, Nº. 26, 2005, págs. 9330-9331
• Idioma: inglés
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