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Resumen de Curvas caracteristícas I-V en condesadores ferroelectricos de PZT

E. Delgado, W. Lopera, P. Prieto, A. Cortes

  • Se realizaron medidas de curvas características de corriente-voltaje ( I-V ) a diferentes temperaturas en condensadores ferroeléctricos basados en películas delgadas de Pb(Zr 0.52 Ti 0.48 )O 3 (PZT) con electrodos inferiores de SrRuO3 (SRO) y electrodos superiores de platino (Pt). Los electrodos de SRO se depositaron sobre substratos de SrTiO 3 (100) utilizando la técnica Sputtering DC a alta presión de oxigeno. La película de PZT fue crecida utilizando la técnica de magnetrón sputtering RF en oxígeno puro. Las medidas de histéresis P-E de condensadores de diferentes áreas, de 5.0 x10-4 cm2 a 6.5x10-3 cm2 y con un espesor de 40 nm, mostraron un claro comportamiento histerético con polarización remanente alrededor de 30 mC/cm2 a temperatura ambiente. A partir de las curvas I-V se obtuvo medidas de conductancia, las cuales mostraron una dependencia parabólica respecto al voltaje de polarización indicando tunelamiento electrónico.


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