Investigation of gettering effects in CZ-type silicon with SIMS

• Autores: M. Fuchs, R. Koegler, H Hutter, D. Krecar
• Localización: Analytical and bioanalytical chemistry, ISSN 1618-2642, Vol. 381, Nº 8, 2005, págs. 1526-1531
• Idioma: alemán
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