Performance of the 13.5 nm PVC capillary discharge EUV source

• Autores: Hans-Joachim Kunze, Sanda Plesli¿, S.S. Ellwi, Ž Andreić
• Localización: Physics letters, Section A, ISSN 0375-9601, Vol. 335, Nº. 5, 2005, págs. 430-434
• Idioma: inglés
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