Fluorine plasma treatment on SU-8 polymer for integrated optics

• Autores: J. Zyss, B. Bêche, P. Papet, F. Poncin-Epaillard, D. Debarnot, E. Gaviot
• Localización: Optics communications, ISSN 0030-4018, Vol. 246, Nº. 1, 2005, págs. 25-28
• Idioma: inglés
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