Use of Michelson and Fabry-Perot interferometry for independent determination of the refractive index and physical thickness of wafers

• Autores: G. D. Gillen
• Localización: Applied optics: A publication of the Optical Society of America, ISSN 0003-6935, Nº. 3, 2005, págs. 344-347
• Idioma: inglés
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