Se han preparado láminas delgadas de óxido de indio dopado con estaño (ITO) en un sistema de pulverización catódica diseñado para su operación en continuo sobre grandes áreas. Las propiedades ópticas y eléctricas de las láminas se han analizado en función de la presión parcial del gas reactivo (oxígeno) introducido en la cámara de proceso y del espesor determinado por el tiempo de depósito. Ajustando los diversos parámetros se han llegado a obtener láminas de espesor inferior a 800 nm con resistencia laminar inferior a 8 W/sq y transmisión en el visible superior a 80% sobre 15x15 cm2 de área. Estas características resultan adecuadas para su aplicación como contacto eléctrico frontal en dispositivos fotovoltaicos de lámina delgada.
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