Record high extreme-ultraviolet efficiency at near-normal incidence from a multilayer-coated polymer-overcoated blazed ion-etched holographic grating

• Autores: R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, M. P. Kowalski
• Localización: Optics letters: A publication of the Optical Society of America, ISSN 0146-9592, Nº. 24, 2004, págs. 2914-2916
• Idioma: inglés
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