Microdischarge devices with 10 or 30 ¿m square silicon cathode cavities: pd scaling and production of the XeO excimer

• Autores: J. Chen, J. G. Eden, C. Liu, S.-J. Park
• Localización: Applied physics letters, ISSN 0003-6951, Vol. 85, Nº. 21, 2004, págs. 4869-4871
• Idioma: inglés
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