Comparative investigations of structure and properties of BCN coatings deposited by thermal and plasma-enhanced CVD

• Autores: T. Thamm, G. Marx, D. Dietrich, K.-U. Körner, K. Weise, S. Stöckel
• Localización: Analytical and bioanalytical chemistry, ISSN 1618-2642, Vol. 375, Nº 7, 2003, págs. 884-890
• Idioma: alemán
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