AES and SIMS investigation of diffusion barriers for copper metallization in power-SAW devices

• Autores: M. Albert, M. Pekar¿íková, S. Menzel, H. Schmidt, S. Baunack, K. Wetzig
• Localización: Analytical and bioanalytical chemistry, ISSN 1618-2642, Vol. 375, Nº 7, 2003, págs. 891-895
• Idioma: alemán
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