Atomic-scale modeling of chemical vapor deposition processes from new complicated gas-phase mixtures for micro- and nanoelectronic applications

• Autores: T.M. Makhviladze, M.E. Sarychev
• Localización: Modeling and simulation of new materials: Tenth Granada Lectures : Granada, Spain 15-19 September 2008 / coord. por Pedro Luis Garrido Galera, Pablo I. Hurtado, Joaquín Marro, 2009, ISBN 9780735406247, págs. 282-283
• Idioma: español
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