Maskless pattern fabrication on Pyrex 7740 glass surface by using nano-scratch with HF wet etching

• Autores: S.W. Youn, C.G. Kang
• Localización: Scripta materialia, ISSN 1359-6462, Vol. 52, Nº. 2, 2005, págs. 117-122
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)