Fabrication of two-dimensional infrared photonic crystals by deep reactive ion etching on Si wafers and their optical properties

• Autores: Yong Zeng, Mei Zhou, Wei Lu, Xiaoshuang Chen, Jing Xu
• Localización: Solid state communications, ISSN 0038-1098, Vol. 132, Nº. 8, 2004, págs. 503-506
• Idioma: inglés
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