Resumen de Modelos teoricos del transporte, erosion y deposito en sistemas de descarga

Juan Carlos Moreno Marín

• LOS SISTEMAS DE DESCARGAS LUMINISCENTES SON MUY UTILIZADOS TECNOLOGICAMENTE EN LOS PROCESOS DE DEPOSITO DE PELICULAS DELGADAS Y GRABADO DE SUPERFICIES. EN ESTE TRABAJO SE HAN DESARROLLADO LAS HERRAMIENTAS TEORICAS NECESARIAS PARA EL ESTUDIO DE LOS FENOMENOS FUNDAMENTALES QUE ALLI SE PRODUCEN:

  - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE IONES ENERGETICOS EN SOLIDOS.

  - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE ATOMOS PULVERIZADOS EN PLASMAS.

  - MODELO ANALITICO DEL GRABADO IONICO CON LA INCORPORACION DE EFECTOS SECUNDARIOS.

  - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL DEPOSITO ATOMICO REPRODUCIENDO EL CRECIMIENTO EPITAXIAL E INCORPORANDO LA INCIDENCIA DE IONES ENERGETICOS.

  - ESTUDIO DE LA GENERACION DE DIFERENTES ESPECIES EN LA DESCARGA.

  CON ESTOS MODELOS SE HAN REALIZADO NUMEROSAS APLICACIONES.