Modelos teoricos del transporte, erosion y deposito en sistemas de descarga

• Autores: Juan Carlos Moreno Marín
• Lectura: En la Universitat de València ( España ) en 1991
• Idioma: español
• Tribunal Calificador de la Tesis: Vicente Such (presid.), Andrés Cantarero (secret.), José Juan Jiménez Rodríguez (voc.), Isabel Abril Sánchez (voc.), Martin Vicanek (voc.)
• Materias:
  • Física
    • Física del estado sólido
      • Interacción de la radiación con los sólidos
• Texto completo no disponible (Saber más ...)
• Resumen

  • LOS SISTEMAS DE DESCARGAS LUMINISCENTES SON MUY UTILIZADOS TECNOLOGICAMENTE EN LOS PROCESOS DE DEPOSITO DE PELICULAS DELGADAS Y GRABADO DE SUPERFICIES. EN ESTE TRABAJO SE HAN DESARROLLADO LAS HERRAMIENTAS TEORICAS NECESARIAS PARA EL ESTUDIO DE LOS FENOMENOS FUNDAMENTALES QUE ALLI SE PRODUCEN:

    - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE IONES ENERGETICOS EN SOLIDOS.

    - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE ATOMOS PULVERIZADOS EN PLASMAS.

    - MODELO ANALITICO DEL GRABADO IONICO CON LA INCORPORACION DE EFECTOS SECUNDARIOS.

    - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL DEPOSITO ATOMICO REPRODUCIENDO EL CRECIMIENTO EPITAXIAL E INCORPORANDO LA INCIDENCIA DE IONES ENERGETICOS.

    - ESTUDIO DE LA GENERACION DE DIFERENTES ESPECIES EN LA DESCARGA.

    CON ESTOS MODELOS SE HAN REALIZADO NUMEROSAS APLICACIONES.