Resumen de Design, characterization and application of mems resonators with high performance in liquid media
En este proyecto de tesis doctoral, se han investigado los sistemas microelectromecánicos (MEMS) resonantes empleados en aplicaciones de caracterización o sensado, en busca de aquellos con mejores características para operar en medios líquidos. La interacción de los resonadores con el medio se ha modelado utilizando desarrollos analíticos y simulaciones por el método de elementos finitos (FEM), de los cuales se han extraído las figuras de mérito del movimiento resonante. Estos modelos se han contrastado con resultados experimentales, obtenidos de dispositivos fabricados, utilizando un diseño adecuado para repoducir de manera óptima las formas modales que se pretendían investigar. Entre los diferentes modos de vibración, se prestó especial atención a los modos extensionales o longitudinales y los modos de deformación lateral, ambos dos modos en el plano. Dentro de los modos fuera del plano, se encontró que un tipo de modo de alto orden y mayor complejidad que los habituales a flexión o torsión, demostró ser el mejor candidato para operar en medio líquido. El estudio se completó con otros modos de vibración menos habituales, como son los modos de contorno en el plano o los modos fuera de plano degenerados, con resultados prometedores.
