Resumen de Diseño test de micromembranas actuadas ópticamente
Se han simulado termo-mecánicamente, mediante el ANSYS, membranas bimetálicas y reumáticas. En una membrana de 10um, un grosor de 4um de A1 produce mayor deflesión que 1 um. Se han presentado tres diseños experimentales para la medida de pequeños desplazamientos en membranas (bimetálicas, neumáticas y termo-neumáticas) actuadas con potencia óptica.
1,- Se ha utilizado un interferómetro de Michelson para medir la deflexión de las membranas en función de la potencia óptica. La técnica permite resoluciones submicra y una medida de la respuesta dinámica de las membranas. Esta técnica permite ser automatizable. Desventajas: las superficies en estudio deben estar muy limpias, el banco óptico debe estar totalmente alejado de cualquier ruido o vibración mecáncia posible ya que es muy sensible a este tipo de interferencias, proporciona medidas indirectas (conteo de anillos).
2,- Uso del PSD, ventajas: es una medida directa, es automatizable, el uso de equipos electróncios periféricos permite la captura de datos en forma más rápida y confiable. La respuesta dinámica es inmediata. Desventajas del PSD están: se deben evitar vibraciones tanto mecánicas como eléctricas y se requiere de un espacio mayor que el utilizado con la técnica 1, presenta problemas de alineamiento del haz, al igual que con la técnica 1. Se ha observado que las membranas bimétalicas con 4um de aluminio se deflectan más que con 1 um.
3,- Interferometría por fibra óptica es una técnica para la medida de la distribución de desplazamientos en membranas neumáticas y bimetálicas actuadas compotencia óptica basante eficaz. Ventajas: utiliza una óptica integrada, realiza medidas estáticas y dinámicas, permite obtener resultados bastante fiables, es automatizable. La superficie de la muestra (membrana) a medir debe estar pulida pero no es un factor tan critico como el caso de la inteferometría de Michelson. En el interferómetro por fibra óp
