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Efectos de los plasmas de oxígeno-freón para la eliminación de resinas sobre silicio £ dióxido de silicio

    1. [1] Universidad Autónoma de Barcelona
  • Localización: XXI Reunión bienal de la Real Sociedad española de Física: programa, Salamanca 4 al 10 de octubre, 1987 / Real Sociedad Española de Física (aut.), 1987, págs. 623-624
  • Idioma: español
  • Texto completo no disponible (Saber más ...)

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