Resumen de Aplicación del recocido con láser de CO2 en la fabricación de guías de onda planares nanoestructuradas basadas en SiO2-ZrO2 Y SiO2-HfO2

C. Goyes, M. Ferrari, Efraín Solarte, A. Chiasera, Y. Jestin, G.C. Righini, A. Casas, C. Meacock

• español

  Se elaboraron guías de onda planares de SiO2-ZrO2 y SiO2-HfO2 dopadas con concentraciones de iones Er+3 entre 0.5 y 5 mol% usando el método sol-gel para aplicaciones en dispositivos de óptica integrada. Las películas fueron depositadas sobre substratos de v-SiO2. Las propiedades químicas, ópticas y espectroscópicas fueron evaluadas mediante comparación entre dos tipos de recocido: Recocido convencional en horno y Recocido con Láser de CO2. Las guías procesadas utilizando recocido láser presentan incremento en el índice de refracción y menores coeficientes de atenuación respecto a las guías procesadas con un recocido convencional en horno. Para todas las muestras, fue observada una emisión a temperatura ambiente en la Banda C de telecomunicaciones bajo excitación a 514.5 y 980 nm.

• English

  SiO2-ZrO2 and SiO2-HfO2 planar waveguide doped with 0.5 and 5 mol% Er+3 ions were prepared by sol-gel route for integrated optic devices. The films were deposited on v-SiO2 substrates. Chemical, optical and spectroscopic properties were evaluated in order to compare two diferentes annealing proceses: Thermal conventional annealing and CO2 Laser annealing. An increase in the refractive index was observed in all the irradiated samples, and the laser annealing can lead to waveguides with a lower attenuation coefficient comparing with the thermal conventional annealing. Emission in C-telecommunications band was observed at room temperature for all the samples upon excitation at 514 and 980nm.