Resumen de Nanolitografía por oxidación local de películas delgadas de nitruro de titanio usando el microscopio de fuerza atómica
Alfonso Devia Cubillos, Diego F. Arias M., Francisco J. Martínez
Utilizando el Microscopio de Barrido por Sonda en su modo de Microscopia de Fuerza Atómica se ha inducido la oxidación local en la superficie de películas de Nitruro de Titanio (TiN). La oxida-ción fue generada usando una punta de silicio recubierta por oro y otra recubierta de diamante. Aplicando un potencial negativo al sustrato ha permitido generar líneas de Óxido de Titanio sobre la superficie de la película de TiN. El ancho de los patrones de oxidación cambia con la humedad relativa cuyas dimensiones fueron aproximadamente de 618 nm y 418 nm para un 85 % y 78 % de humedad relativa respectivamente: La altura de los patrones son relativamente constantes (aproximadamente 8 nm).
