Estudio de películas amorfas de TiAlN preparadas por erosión catódica reactiva por radiofrecuencias

• Autores: L. García-González, O. Ceh-Soberanis, Juan Muñoz Saldaña, J.P. Bartolo-Pérez, F.J. Espinoza-Beltrán, J. Morales-Hernández
• Localización: Revista Mexicana de Física, ISSN-e 0035-001X, Vol. 50, Nº. 3, 2004, págs. 311-318
• Idioma: español
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