Resumen de Aplicación para grandes áreas fotovoltaicas: láminas delgadas conductoras y transparentes preparadas en continuo
Cecilia Guillén Arqueros, María Teresa Gutiérrez García, José Herrero Rueda
Se han preparado láminas delgadas de óxido de indio dopado con estaño (ITO) en un sistema de pulverización catódica diseñado para su operación en continuo sobre grandes áreas. Las propiedades ópticas y eléctricas de las láminas se han analizado en función de la presión parcial del gas reactivo (oxígeno) introducido en la cámara de proceso y del espesor determinado por el tiempo de depósito. Ajustando los diversos parámetros se han llegado a obtener láminas de espesor inferior a 800 nm con resistencia laminar inferior a 8 W/sq y transmisión en el visible superior a 80% sobre 15x15 cm2 de área. Estas características resultan adecuadas para su aplicación como contacto eléctrico frontal en dispositivos fotovoltaicos de lámina delgada.
