Resumen de Modelization, simulation and design of micro-electro-mechanicazed systems (mems) preconcentrators for gas sensing
Roser Inglés Bort
Hoy en día, la normativa sobre gases que son tóxicos a muy bajas concentraciones se está haciendo muy estricta. Por esta razón, los dispositivos como los preconcentradores que permiten la detección de estos gases a bajas concentraciones se están investigando cada vez más.En esta tesis se hace un estudio sobre preconcentradores planos fabricados en silicio, con la idea de poder integrarlos con el sistema sensor. Estos preconcentradores se han simulado para comprender mejor su funcionamiento. Se ha hecho un estudio para conseguir una óptima homogenización de temperatura en el área calentada. Se han fabricado nuevos diseños con calefactores optimizados. También se han fabricado membranas grandes para poder depositar más material adsorbente y así incrementar la capacidad de concentración. Los nuevos diseños han sido caracterizados para validar las simulaciones y poder crear un modelo que sirva para probar nuevas ideas de diseño evitando los largos y costosos procesos de fabricación.
