Grabado seco de GaAs: influencia del bombardeo iónico
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http://hdl.handle.net/10045/4131
| Título: | Grabado seco de GaAs: influencia del bombardeo iónico |
|---|---|
| Autor/es: | Villalvilla, José M. |
| Director de la investigación: | Vallés Abarca, José Antonio |
| Centro, Departamento o Servicio: | Universidad de Alicante. Departamento de Física Aplicada |
| Palabras clave: | Grabado de GaAs | Haces iónicos anchos | Bombardeo iónico |
| Área/s de conocimiento: | Física Aplicada |
| Fecha de creación: | 1992 |
| Fecha de publicación: | 1992 |
| Fecha de lectura: | 15-sep-1992 |
| URI: | http://hdl.handle.net/10045/4131 |
| Idioma: | spa |
| Tipo: | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis |
| Aparece en las colecciones: | Tesis doctorales |
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|---|---|---|---|---|
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